芯片制造是我国大力发展的高端的制造业之一,晶圆通常由高纯度的单晶硅或多晶硅制成,制造过程需要严格控制杂质含量。
生产前晶圆表面必须平整,才能保证集成电路的制造质量,电路制作完成以后、封测前,也需要进行外观检测。
晶圆的外观检测需要用到显微镜成像,不良项目大致有:颗粒、划痕、裂缝、表面离子等等。